Beim Planetenschleifen, oder auch Dreikopfschleifen, besteht das Schleifsystem aus drei separaten Planetenköpfen. Diese drehen sich entgegensetzt zur Zentralrotation. Das führt zu einer hohen Reibung und gleichzeitig einer großen Abdeckung. Die einzelnen Schleifscheiben haben außerdem einen besseren Kontakt zum Untergrund und erzielen dadurch auch ein besseres Ergebnis. Alle Planetenschleifer sind kompatibel mit den Diamag Aufnahmeplatten für Diamag Diamantschleifwerkzeuge.